[21p-S421-1~20] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[21p-S421-14] 直径，結晶品質に依存したカーボンナノチューブの電気伝導特性(2)

〇西浦 憲¹、徳富 淳一郎¹、田中 将嗣²、松本 凌²、高野 義彦² (1.矢崎総業、2.物材機構)

キーワード：カーボンナノチューブ、電気伝導度

孤立状態の多層カーボンナノチューブ（MWCNT）の電気伝導特性を調べた．2000℃以上の温度でMWCNTをアニールすることで結晶性を制御し，Siウエハ上にマウントした．次に電子線リソグラフィ法でAu/Ti電極を形成し，4端子法で直流抵抗の温度依存性を測定した．結晶性が高いほど電気伝導度が向上するとともに，温度に対する振る舞いが大きく変化した．これらの要因について議論する．