[21p-S423-1~19] 13.9 Optical properties and light-emitting devices

[21p-S423-17] Carrier recombination process in GaAs quantum nanodisks array fabricated by bio-nano-template and neutral beam etching

〇(M2)Kiyofumi Kondo¹, Daisuke Ohori¹, Kentaro Sakai², Cedric Thomas³, Akio Higo⁴, Seiji Samukawa³, Kouji Maeda¹, Tetsuo Ikari¹, Atsuhiko Fukuyama¹ (1.Univ. of Miyazaki, 2.CRCC, Miyazaki, 3.IFS, Tohoku Univ., 4.WPI-AIMR, Tohoku)

Keywords:quantum dot,nanodisks,neutral beam

超低損傷の中性粒子ビームとバイオナノテンプレートを用いたトップダウンドライプロセスによって、作製したGaAs量子ナノディスクのキャリア再結合過程及び埋め込み再成長の影響