[21p-S611-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[21p-S611-5] Siフォトニック結晶マッハツェンダー変調器における広い波長範囲での周波数応答調査

〇雛倉 陽介¹、寺田 陽祐¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：変調器、スローライト、フォトニック結晶

我々は格子シフト型フォトニック結晶導波路の低分散スローライトを利用し，低電圧動作可能で広い動作波長範囲をもつデバイスを目指してきた．今回は，広い動作波長範囲の周波数応答を詳細に調査した．入力光の波長を0.02 nmずつ変化させ，各波長でのEO周波数応答をネットワークアナライザにより測定したところ，3 dB遮断周波数は10~15 GHzにあり，細かく振動した．これらは群屈折率のゆらぎが原因と考えられ，より高精度なプロセスの利用，およびSi細線導波路との接続構造の改善による平坦化が期待される．