[21p-W331-1~19] CS.2 3.7, 12.6, 12.7のコードシェアセッション「レーザー・ナノ・バイオ ―プロセシングとセンシングの融合に向けて―」

[21p-W331-7] 金属ナノ粒子を用いたレーザー直接描画法による3次元マイクロ構造体の形成

〇渡辺 明¹、蔡 金光¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザー直接描画、金属ナノ粒子、3Dプリンティング

銀および銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画による３D微細構造体形成の検討を行った。5軸のモーションコントローラーで制御されたXYZステージ、チューブポンプ、スピンコーターおよび405 nmブルーバイオレットレーザーから成る装置を開発し、G-コード・コンピューター制御によって、金属ナノ粒子製膜とレーザー描画のサイクルを自動的に繰り返す積層法より、銀および銅の3Dマイクロ構造体を形成した。