[22a-H113-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[22a-H113-2] チャージアンプを備えたnc-AFMによる表面電子状態解析

〇野上 真¹、新井 豊子²、笹原 亮¹、富取 正彦¹ (1.北陸先端大、2.金沢大)

キーワード：チャージアンプ、静電容量、接触電位差

nc-AFMにチャージアンプを組込んだ計測により、チャージアンプ出力から探針-試料間の静電容量と接触電位差の計測ができる。今回、CA出力の詳細な検証を行ったので報告する。
実際に計測されたチャージアンプ出力を、計算により得られた静電容量および接触電位差を用いて検証した。チャージアンプの広帯域特性から、高速な表面電子状態計測手法となり得ることを示す。