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△ [22a-H116-6] 大気中レーザーアブレーションで作製したSbドープZnOマイクロスフィアの特性評価
キーワード:酸化亜鉛、アンチモン、マイクロスフィア
酸化亜鉛(ZnO)は高効率な紫外発光材料として注目されているⅡ-Ⅵ族化合物半導体である。最近、我々はレーザーを用いたマイクロサイズのZnOスフィアの作製に成功している。一方、ZnOを用いた発光素子応用の上で強く期待されているのがp型ZnOの実現である。そこで、本研究ではp型不純物の一つとして注目されているSbをドープしたSbドープZnOマイクロスフィアの作製し、構造および光・電気特性について報告する。