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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-H121-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年3月22日(火) 08:45 〜 11:45 H121 (本館)

赤坂哲也(NTT)、斎藤義樹(豊田合成)

10:30 〜 10:45

[22a-H121-7] 無極性m面AlN基板上へのAlNの流量変調エピタキシ

〇西中淳一¹、谷保芳孝¹、赤坂哲也¹、熊倉一英¹ (1.NTT物性研)

キーワード：窒化アルミニウム、無極性、流量変調エピタキシ

　　　