[22a-H121-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-H121-8] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層成長温度依存性

〇林 家弘¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大・院工、2.三重大・地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、有機金属気相成長法