[22a-P2-1~12] 3.2 材料・機器光学

[22a-P2-9] シリコンのアルカリエッチングを利用した赤外用ワイヤグリッド偏光子の作製

〇山田 逸成¹、吉田 黎¹ (1.滋賀県立大工)

キーワード：ワイヤグリッド偏光子、赤外、アルカリエッチング