[22a-P4-1~27] 6.3 Oxide electronics

△ [22a-P4-1] Fabrication and Characterization of Transparent Self-Switching Nano-Diodes using ZnO

〇Yi Sun¹, Kohei Ashida¹, Sohei Matsuda¹, Masatoshi Koyama¹, Toshihiko Maemoto¹, Shigehiko Sasa¹, Seiya Kasai² (1.Osaka Inst. of Tech. NMRC, 2.Hokkaido Univ. RCIQE)

Keywords:nano-diode,ZnO,transparent

酸化亜鉛（ZnO）はp形薄膜を作製することが極めて難しく，pn接合による整流素子の作製が困難である．そこで我々は新しい構造を用いた整流素子であるセルフスイッチングナノダイオード（Self-switching nano-diode; SSD）に注目した．今までに我々は金属電極を用いたZnO-SSDを実現した．今回，我々は低抵抗材料であるAlドープZnO（AZO）を電極に用い，170℃以下の低温プロセスにより，ほぼ透明なZnO-SSDをガラス基板上に作製したので，その電気特性について報告する．