[22a-P4-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [22a-P4-1] 酸化亜鉛を用いた透明セルフスイッチングナノダイオードの作製と評価

〇孫 屹¹、芦田 浩平¹、松田 宗平¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹、葛西 誠也² (1.阪工大ナノ材研、2.北大量集センター)

キーワード：ナノダイオード、酸化亜鉛、透明

酸化亜鉛（ZnO）はp形薄膜を作製することが極めて難しく，pn接合による整流素子の作製が困難である．そこで我々は新しい構造を用いた整流素子であるセルフスイッチングナノダイオード（Self-switching nano-diode; SSD）に注目した．今までに我々は金属電極を用いたZnO-SSDを実現した．今回，我々は低抵抗材料であるAlドープZnO（AZO）を電極に用い，170℃以下の低温プロセスにより，ほぼ透明なZnO-SSDをガラス基板上に作製したので，その電気特性について報告する．