[22a-P4-1~27] 6.3 Oxide electronics

[22a-P4-27] Hydrogen Annealing Effect on Mesoporous Titania Thin Film

〇Yu Ichikawa¹, Takaaki Kuboki¹, Hiroshi Nagayoshi¹ (1.NIT,Tokyo)

Keywords:Titanium oxide,Hydrogen annealing

酸化チタン(TiO₂)は水素雰囲気中でアニールすることにより、酸化チタンが還元され、低次酸化チタン(Ti₂O₃、Ti₄O₇など)となる。低次酸化チタンは酸化チタンと比べバンドギャップが狭くなることが知られている。そこで、スクリーン印刷法で石英ガラス基板上に製膜した酸化チタン薄膜を減圧下水素雰囲気中でアニールし、光学的・電気的特性の評価を行った。