[22a-P4-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22a-P4-27] 多孔質酸化チタン薄膜の水素処理効果

〇市川 裕¹、久保木 尊愛¹、永吉 浩¹ (1.東京高専)

キーワード：酸化チタン、水素処理

酸化チタン(TiO₂)は水素雰囲気中でアニールすることにより、酸化チタンが還元され、低次酸化チタン(Ti₂O₃、Ti₄O₇など)となる。低次酸化チタンは酸化チタンと比べバンドギャップが狭くなることが知られている。そこで、スクリーン印刷法で石英ガラス基板上に製膜した酸化チタン薄膜を減圧下水素雰囲気中でアニールし、光学的・電気的特性の評価を行った。