[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-P6-1] 硬X線光電子分光法によるSiN/AlGaN界面評価

〇田中 政幸¹、清井 明¹、本谷 司¹、倉橋 健一郎¹ (1.三菱電機 先端総研)

キーワード：硬光電子分光