09:30 〜 11:30
[22a-P6-18] 縦型バッチ炉でのLP HVPE GaNエピタキシャル成長
キーワード：HVPE、GaCl3、縦型バッチ炉
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶
[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶
2016年3月22日(火) 09:30 〜 11:30 P6 (屋内運動場)
一般セッション(ポスター講演)
15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶
2016年3月22日(火) 09:30 〜 11:30 P6 (屋内運動場)
09:30 〜 11:30
キーワード：HVPE、GaCl3、縦型バッチ炉