[22a-P6-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-P6-6] MOVPE法を用いたBGaN成長における成長雰囲気の検討

〇中村 匠¹、矢野 雄大¹、上山 浩平¹、青木 徹²、井上 翼¹、小島 一信³、秩父 重英³、中野 貴之¹ (1.静岡大院、2.静岡大電研、3.東北大多元研)

キーワード：BGaN、MOVPE