2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.3 層状物質

[22a-S421-1~11] 17.3 層状物質

2016年3月22日(火) 09:00 〜 12:00 S421 (南4号館)

宮田 耕充(首都大)

11:30 〜 11:45

[22a-S421-10] スパッタ堆積MoS2薄膜のXPSと光学コントラスト法による層数識別

石原 聖也1、日比野 祐介1、澤本 直美1、須田 耕平1、大橋 匠2、松浦 賢太郎2、町田 英明3、石川 真人3、須藤 弘3、若林 整2、小椋 厚志1 (1.明治大、2.東工大、3.気相成長(株))

キーワード:二硫化モリブデン