[22a-W321-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

[22a-W321-1] a-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池のa-Si層へのプラズマドーピング

〇小山 晃一¹、山口 昇²、田中 美和²、鈴木 英夫²、大平 圭介¹、松村 英樹¹ (1.北陸先端大、2.株式会社 アルバック)

キーワード：ヘテロ接合太陽電池、プラズマドーピング、Cat-CVD