[22a-W331-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[22a-W331-12] 前駆体a-Siの膜質制御によるFLA-poly-Si膜の欠陥密度低減

〇野澤 尚樹¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール