[22a-W521-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

[22a-W521-4] 連続的超音波溶融による有機薄膜トランジスタの作製

〇酒井 正俊¹、佐々木 達彦¹、高 徳幸¹、岡田 悠悟¹、山内 博¹、貞光 雄一²、品村 祥司²、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工、2.日本化薬)

キーワード：有機半導体、フレキシブルエレクトロニクス、超音波溶融

超音波溶融は、瞬間的・局所的な加熱によって有機半導体を溶融・薄膜化する技術であり、プロセスの低温化とタクトタイムの短縮を強みとしている。一方、超音波溶融は断続的なプロセスであり、ロールトゥロールのような連続的なプロセスとのマッチングはよくないと考えられていた。我々は連続的に搬送されるシート上で超音波を印加する仕組みを考案し、その検証を行った。有機半導体トナーが散布されたポリイミド基板が、送出ローラーから巻取ローラーに搬送される間にホーンを通じて超音波が印加される。ホーンとの接点を通過する短い時間内に有機半導体トナーを溶融・薄膜化し、その薄膜トランジスタ動作を実証した。