[22a-W521-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

[22a-W521-5] スリットコータを用いた塗布法による大面積有機単結晶薄膜の作成

〇五十川 良則¹、諫早 伸明²、小森 真梨子²、宇野 真由美^3,4、竹谷 純一^2,3,4 (1.タツモ、2.パイクリスタル、3.阪府産技研、4.東大新領域)

キーワード：有機半導体、スリットコータ

薄膜を大面積かつ均一に塗布ができるスリットコータを有機半導体膜の塗布用途として改良し、溶液化した有機半導体材料を大面積に均一な膜厚で塗布することができたので報告する。