[22a-W521-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

[22a-W521-7] 自己組織化単分子絶縁膜の短時間成膜と温度依存性

〇栗原 一徳¹、吉田 学¹ (1.産総研)

キーワード：有機エレクトロニクス、自己組織化単分子膜、温度依存性

有機エレクトロニクスの利点としてロールツーロールプロセスによる大量生産の可能性が挙げられる。しかし、これまで大気圧下で利用できる駆動電圧の低電圧化技術はなかった。前回までに我々は大気圧酸素プラズマプロセスと自己組織化単分子を利用することで、２V駆動の有機トランジスタが作製できることを示している(第76回講演会15p-1G-6)。今回我々は大量生産プロセス化にあたり課題として残っていた自己組織化単分子膜成膜の短時間化を行った。