[22a-W611-1~14] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[22a-W611-12] 低温プラズマによる黒鉛粉体のフッ化処理

〇田口 貢士¹、安達 穣¹、松本 将大¹、登尾 一幸¹ (1.魁半導体)

キーワード：黒鉛、フッ化、粉体処理