[22a-W621-1~11] 8.5 Nanotechnology

[22a-W621-2] Ellipsometric Monitoring of Initial Stages of Graphene Growth

Masahiro Kawano¹, Shunya Yamada¹, Satoshi Ishidosiro¹, 〇Yasuaki Hayashi¹ (1.Kyoto Inst. Technol.)

Keywords:graphene,ellipsometry,monitoring

グラフェン成長初期過程の解析に、単色レーザー偏光解析モニタリングを用いた。グラフェンの成長には、RFマグネトロンプラズマCVD装置を用いた。20分間成長したときの偏光解析パラメータΨおよび⊿の変化をシミュレーションの結果と比較すると、グラファイト均一成長のモデルとは一致せず、薄膜中のグラファイトの体積分率が減少して光学定数が小さくなっていったとしたモデルと良い一致を示した。