[22a-W621-1~11] 8.5 Nanotechnology

[22a-W621-4] Surface morphology changes of Fe and Nb by helium plasma irradiation

〇Shin Kajita¹, Tomoya Ishida², Fumiaki Mimuro³, Noriyasu Ohno² (1.IMaSS, Nagoya Univ., 2.Grad. Eng., Nagoya Univ., 3.Eng., Nagoya Univ.)

Keywords:plasma irradiation,metallic nanostructures,helium bubbles

近年，ヘリウム（He）プラズマ照射により，タングステン，チタン，およびニッケル等のメソポーラスの繊維状ナノ構造体が表面に形成されること，さらに光触媒反応によるメチレンブルーの無色化において可視光応答性見出されている。本研究では， FeとNbにヘリウムプラズマ照射し，表面構造の変化を明らかにする。ヘリウム照射によりFe及びNb表面に多くのナノホールが表面に形成され，ナノ構造により表面が粗くなる。照射条件を変化させ，表面の構造変化及び光学的反射率が著しく減少することを示す。