[22a-W621-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[22a-W621-4] ヘリウムプラズマ照射による鉄及びニオブの表面構造変化

〇梶田 信¹、石田 智哉²、三室 文明³、大野 哲靖² (1.名大未来研、2.名大院工、3.名大工)

キーワード：プラズマ照射、金属ナノ構造、ヘリウムバブル

近年，ヘリウム（He）プラズマ照射により，タングステン，チタン，およびニッケル等のメソポーラスの繊維状ナノ構造体が表面に形成されること，さらに光触媒反応によるメチレンブルーの無色化において可視光応答性見出されている。本研究では， FeとNbにヘリウムプラズマ照射し，表面構造の変化を明らかにする。ヘリウム照射によりFe及びNb表面に多くのナノホールが表面に形成され，ナノ構造により表面が粗くなる。照射条件を変化させ，表面の構造変化及び光学的反射率が著しく減少することを示す。