PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね！ 0 コメント (0) 10:00 〜 10:15 △ [22a-W621-5] マグネトロンスパッタリングにより生成したスズ微粒子の保持および基板への輸送 〇(BC)高成 和史1、ナファリザル ナヤン2、佐々木 浩一1 (1.北海道大学、2.Univ. Tun Hussein Onn Malaysia) キーワード：ナノ液滴、マグネトロンスパッタリング
