[22a-W621-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [22a-W621-8] 高圧液中レーザーアブレーション法を用いて作製した酸化亜鉛ナノ粒子酸素センサにおける酸素応答モデル

〇後藤 拓¹、清水 禎樹²、保田 英洋¹、伊藤 剛仁¹ (1.阪大院工、2.産総研)

キーワード：レーザーアブレーション、半導体酸素センサ、ZnOナノ粒子