[22p-H103-1~8] 6.4 薄膜新材料

[22p-H103-5] NbO₂テンプレート層を用いた、PLD法によるTaO₂薄膜の作製

〇村岡 祐治^1,2、藤本 佑樹¹、亀岡 美咲²、松浦 由佳²、砂川 正典¹、寺嶋 健成¹、脇田 高徳¹、横谷 尚睦^1,2 (1.岡山大院自然科学、2.岡山大理界面)

キーワード：TaO2、NbO2、テンプレート層

ルチル型TaO₂薄膜を、NbO₂テンプレート層を用いてAl₂O₃(0001)基板上にパルスレーザー堆積法で作製した。XRDとXPS測定より、得られた薄膜はTaO₂とアモルファスTa₂O₅表面層からなることがわかった。また、NbO₂層にはTaO₂膜の結晶化とTa⁴⁺の形成を促進する役割があることを明らかにした。本研究から、NbO₂テンプレート相の活用がTaO₂薄膜の作製に有効であることを示す。