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[22p-H103-8] 室温において封止スペース内に形成したSiO2 接着層の封止性
キーワード：SiO2接着層、ガスバリア、耐腐蝕性
室温において封止スペース内に形成したSiO2 接着層のガスバリア性をHeガスリーク検出機により評価した結果、測定系のブランクガラス小片で測定されるのHeガスリーク量は4×10-12Pa·m3/sで、接着小片で測定されるリーク量との間に有意差は認められなかった。今後、このSiO2接着層のガスバリア性を評価するためには10-14Pa·m3/sレベルのHeガス量の測定技術を検討していく必要がある。このSiO2接着層をペンタフルオロプロピオン酸液に室温で24時間浸漬する試験により、この接着層の良好な耐腐蝕性を確認した。