[22p-H116-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[22p-H116-3] MOVPE法による(211)CdTe/Si成長層のエッチピット評価

〇坪田 眞太郎¹、杉本 宗一郎¹、伊藤 祐葵¹、山崎 大輔¹、神野 悟史¹、小島 將弘¹、北川 翔三¹、安田 和人¹、ニラウラ マダン¹、安形 保則¹ (1.名工大工)

キーワード：MOVPE法、CdTe成長層