[22p-S222-1~9] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [22p-S222-6] 塗布型酸化物TFTにおける水素プラズマの効果

〇宮川 幹司¹、中田 充¹、辻 博史¹、藤崎 好英¹、山本 敏裕¹ (1.NHK技研)

キーワード：酸化物半導体、TFT