[22p-W541-1~8] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[22p-W541-6] ダブルNO₂ホールドーピングを用いたダイヤモンド電界効果トランジスタの作製

〇嘉数 誠¹、原田 和也¹、古賀 優太¹、花田 賢志¹、大石 敏之¹ (1.佐賀大院工)

キーワード：ダイヤモンド、FET

我々はNO₂ホールドーピングにより、ダイヤモンドFETを作製しているが、今回、NO₂ホールドーピングを２回行うことにより特性が向上した。