09:30 〜 11:30 △ [8a-PA4-14] AgOX/InGaZnOショットキー接合形成に向けた反応性スパッタ法によるAgOXの形成と物性評価 〇橋本 慎輔1、曲 勇作1、濵田 賢一朗1、古田 守1,2 (1.高知工科大、2.総研)