14:15 〜 14:30 [7p-C23-3] 急峻なサブスレッショルドスロープを持つALD-AlOxゲート絶縁膜アモルファスInSiO TFT 〇相川 慎也1,2、木津 たきお2、生田目 俊秀2、塚越 一仁2 (1.工学院大、2.NIMS)