14:45 〜 15:00 [7p-A201-4] X線トポグラフによるSiC基板の混合転位の評価 〇中居 克彦1、永井 哲也1、守分 秀一1、野網 健悟1、二木 登史郎1 (1.日鉄住金テクノロジー)