14:45 〜 15:00 [6p-C24-5] 電子線堆積カーボン探針を備えた小型カンチレバーの再利用プロセスの確立 〇中嶋 脩貴1、宮澤 佳甫1、岩崎 郷史1、福間 剛士1,2 (1.金大院、2.ACT-C)