10:15 〜 10:30 [6a-A204-5] ラインレーザーを用いた液相結晶化シリコン薄膜の形成と評価:レーザースキャン速度依存性 〇海汐 寛史1,2、松井 卓矢1、齋 均1、櫻井 岳暁2、松原 浩司1 (1.産総研、2.筑波大)