14:00 〜 14:15 △ [6p-A503-2] 電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法によるP添加n型CZ-Si結晶の炭素定量 〇石川 陽一郎1、田島 道夫1、木内 広達1、小椋 厚志1、宮村 佳児2、原田 博文2、柿本 浩一2 (1.明治大理工、2.九州大工)