13:30 〜 15:30 △ [7p-PA2-14] 有機金属分解法およびスパッタ法によるシリコン基板上へのセリウム置換型イットリウム鉄ガーネットの製膜 〇(M1)野口 道臣1、庄司 雄哉1、水本 哲也1 (1.東工大)