15:15 〜 15:30 △ [5p-C22-9] 光音響イメージングを用いた窒化ケイ素の表面欠陥評価 〇(M1)遠藤 大輔1、山本 壮里1、多々見 純一2、高橋 英嗣1、山岡 禎久1 (1.佐大院工、2.横国大院工)