16:30 〜 16:45 [5p-A202-13] Ta2O5 の抵抗変化を利用した水素ガスセンサー素子 島 久1、〇内藤 泰久1、魏 志強2、本間 運也2、藤井 覚2、角谷 徹1、秋永 広幸1 (1.産総研ナノエレ、2.パナソニックセミコンダクターソリューションズ)