11:15 〜 11:30 △ [5a-A204-9] コロナ放電とレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡を併用したSiNx/Si 界面のポテンシャル評価 〇伊藤 明1、望月 敏光3、中西 英俊1、川山 巌2、斗内 政吉2、白澤 勝彦3、高遠 秀尚3 (1.SCREEN、2.阪大レーザー研、3.産総研FREA)