13:45 〜 14:00 △ [7p-A411-3] KFMを用いたSiの表面温度測定におけるトラップ電荷の影響 〇(M1)岡 晃人1、鈴木 悠平1、川合 健斗1、マニ ナヴァニーザン1、立岡 浩一1、ファイズ サレ2、池田 浩也1 (1.静岡大、2.マラヤ大)