09:30 〜 09:45 [6a-A204-2] 単層Geドットマスクを用いた選択エッチングによる結晶Si太陽電池用光閉じ込め構造の薄型基板への作製 〇(M2)本部 惇史1、黒川 康良1、赤木 成明2、山本 裕三2、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.攝津製油)