13:30 〜 15:30 [8p-PB1-4] UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長 〇渡邊 渉1、吉村 翼1、鈴木 礼央1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)