16:45 〜 17:00 [8p-A504-13] 圧電MEMS振動発電素子における非線形係数の評価 〇(DC)荒牧 正明1、和泉 享兵1、吉村 武1、村上 修一2、佐藤 和郎2、藤村 紀文1 (1.阪府院工、2.大阪技術研)