佐道泰造

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座長等

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:30 C21 (C21)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

野口隆(琉球大)、佐道泰造(九大)

2017年9月8日(金) 13:15 〜 15:00 C19 (C19)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[8p-C19-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

佐道泰造(九大)