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[T-7] (株)菅製作所
■研究・開発用小型スパッタ装置「SSP1000キュービックスパッタ装置」
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[T-10] (株)SCREENファインテックソリューションズ / (株)イー・エム・ディー
■低インダクタンスアンテナ (LIA) プラズマ技術を用いたプラズマ処理装置の紹介
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[SP-11] (株)スプリード
■ALD装置 ■スパッタ装置 ■MBE装置 ■プラズマCVD装置 ■プラズマシャワーヘッド ■ドライエッチャー装置 ■真空部品
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[SP-2] SENTECH社/ 伯東(株)
■弊社取扱い製品 SENTECH社(ドイツ): 分光エリプソメータ、エリプソメータ InSitu モデル、ALD原子層堆積装置
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[O-13] ソーラボジャパン(株)
■教育用実験キットシリーズ(マイケルソン干渉計) ■光ピンセットキット ■光パワーメータ
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