2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

出展者一覧

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[M-6] 東ソー(株)

■新規に開発した低温(プロセス温度:100℃)低抵抗(200μΩcm)を実現可能なスパッタリングターゲットをご紹介します。